項(xiàng)目背景

我國(guó)某重要的高端核心電子器件供應(yīng)基地、半導(dǎo)體新器件新技術(shù)創(chuàng)新基地，為提升晶圓搬運(yùn)效率，支撐半導(dǎo)體生產(chǎn)線的穩(wěn)定、高效運(yùn)行，決定建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域最先進(jìn)的，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、高效穩(wěn)定、智能化程度高的國(guó)產(chǎn)自研晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)。

實(shí)施方案

基于該基地的建設(shè)規(guī)劃及現(xiàn)狀，格創(chuàng)東智從生產(chǎn)效率提升、數(shù)據(jù)安全、緊密空間設(shè)計(jì)三個(gè)方面進(jìn)行了詳細(xì)的方案設(shè)計(jì)，為其提供空中物料傳輸、人機(jī)協(xié)同、數(shù)據(jù)傳輸?shù)日w解決方案 ：

生產(chǎn)效率提升

通過(guò)天車部署安裝，覆蓋對(duì)接多機(jī)臺(tái)復(fù)雜工藝流程間的物料搬送，通過(guò)MCS進(jìn)行全流程的物料自動(dòng)搬送，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)人工搬運(yùn)在效率、失誤率、潔凈度等方面漏洞。

數(shù)據(jù)安全

針對(duì)客戶場(chǎng)景提供定制化網(wǎng)絡(luò)安全方案，保障客戶對(duì)天車運(yùn)行數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性、可行性、安全性。

緊密空間設(shè)計(jì)

系統(tǒng)方案包含自研OHT、OHTC、MCS、異形軌道等，整個(gè)AMHS系統(tǒng)包含搬運(yùn)、通訊、存儲(chǔ)等眾多硬件裝備及其軟件，覆蓋整個(gè)半導(dǎo)體前道工序，充分考慮客戶在緊密空間下的物料搬運(yùn)需求整體解決方案。

項(xiàng)目成果

通過(guò)構(gòu)建完整的晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)，格創(chuàng)東智幫助客戶在空間和設(shè)備利用、運(yùn)送安全與效率、生產(chǎn)調(diào)度靈活性等方面取得了顯著成效：

1、為客戶提供天花板架設(shè)軌道、采用多層設(shè)計(jì)OHB結(jié)構(gòu)，充分考慮客戶工廠不同工序間傳送路徑間的配合，優(yōu)化天車傳送路徑，提高客戶整體空間使用率和設(shè)備使用效率。

2、極大地降低晶圓搬運(yùn)過(guò)程搬運(yùn)震動(dòng)引發(fā)晶圓破損風(fēng)險(xiǎn)，搬運(yùn)精度控制在±1mm以內(nèi)，搬運(yùn)過(guò)程載具振動(dòng)值＜0.5G，關(guān)鍵取放過(guò)程實(shí)施多重防護(hù)，為生產(chǎn)物料及時(shí)穩(wěn)定安全運(yùn)輸保駕護(hù)航。

3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等軟件傳輸層的數(shù)據(jù)，充分考慮生產(chǎn)工藝過(guò)程物料運(yùn)輸?shù)淖顑?yōu)路徑，有效避免擁堵，同時(shí)與FAB其他設(shè)備、軟件緊密協(xié)同，通過(guò)數(shù)字孿生技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)整廠搬運(yùn)有效追蹤，為管理者提供了可靠、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)信息，同時(shí)增強(qiáng)了生產(chǎn)調(diào)度的靈活性和響應(yīng)速度。